产品中心
Product Center
产品特性
(1)无接触测量
利用电容传感技术，无需与被测物体直接接触，避免了因接触导致的磨损或损坏，不会对被测物体造成污染或损伤。
(2)高精度
进行现场校正操作后的4小时内，对于15 mm的间隙，CGMS可以实现±0.020 mm的测量精度；能够提供高重复性的测量结果，确保每次测量的一致性。
(3)可靠性好
外壳采用阳极氧化铝，具有良好的耐用性和稳定性，适用于多种工作环境，每次充电可使用超过8小时，确保长时间的连续测量。
(4)响应速度快
CGMS能够实时提供测量数据，用户可以通过上位机软件实时查看调整效果；CGMS的测量速度快，适合动态测量，能够快速完成间隙测量和平行度检测。
(5)操作简便
支持自动处理，能够加快设备的设置、维护和故障排除，节省时间和人力成本；CGMS配备了易于使用的上位机软件，可以实时显示数值和图形数据，方便用户快速识别间隙是否在目标范围内。
规格参数
应用场景
应用案例
根据客户在半导体加工行业化学气相沉积（CVD）工艺中晶圆与极板之间的间隙平行度的测量需求，我们提供了一种自动化解决方案。该方案集成了CGMS-15间隙测量设备及配套软件，能够快速地检测多点间隙，并实时返回测量数据到软件界面，方便客户及时进行调整以保证两面平行度，节约生产时间。
这一方案既满足了他们对间隙检测的要求，还大幅度地节约了作业时间、降低成本。
